利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得與此有關的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度，干涉條紋每移動一個條紋間距，光程差就改變一個波長，所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所不可比擬的。

 

　　白光干涉儀的優勢：

　　簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上，即可直接進行測量；

 

　　可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學輪廓測量法是一種非接觸式技術，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學輪廓儀不會像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。

 

　　無需更換耗材：只需要一個LED光源，無需其他配件更換；

 

　　可視化3D功能：具有強大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量外，還可以任意角度移動樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像。

 

　　白光干涉儀的應用：

　　對LED行業、太陽能行業、觸摸屏行業、半dao體行業以及數據存儲行業等，提供非接觸式測量方案，樣品從小至微米級別的微機電器件（MEMS），大到整個引擎部件，都可以獲得表面形貌、粗糙度、三維輪廓等數據。